Solución de control de automatización para equipos de recubrimiento de semiconductores

Solución de control de automatización para equipos de recubrimiento de semiconductores

Antecedentes del caso:
En la industria de semiconductores, las máquinas de recubrimiento son esenciales en el proceso de fotolitografía, responsables de aplicar fotoresistentes u otros materiales funcionales en obleas o sustratos.Utilizando métodos de recubrimiento por giro o recubrimiento por rociado, estas máquinas forman películas finas uniformes y estables para garantizar la precisión del patrón.y sistemas de posicionamiento de alta precisiónA menudo cuentan con brazos de carga/descarga automatizados y sistemas de control de retroalimentación en tiempo real para mejorar la eficiencia de la producción y garantizar una calidad de revestimiento constante.

Solución:

• Controlador principal:PLC de OMRON

• Proceso aplicable:Revestimiento

• Configuración de E/S del proyecto:El número de unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción.

• Uso anual:1 millón de juegos

En este proyecto, el cliente integra un OMRON PLC con los productos de la isla de válvula MTC de Decowell para construir un sistema de control neumático compacto y eficiente para equipos de recubrimiento.Las válvulas solares impulsan los cilindros para controlar con precisión el movimiento vertical y horizontal de la boquilla de pulverizaciónLos cilindros adicionales accionan los brazos automáticos de carga y descarga, que transportan los sustratos entre el revestimiento y el sistema transportador.

El sistema incorpora módulos de E/S dentro de la isla de la válvula, lo que permite una fácil conexión de sensores de posición y interruptores magnéticos.Con arquitectura modular, el sistema ofrece una excelente escalabilidad y flexibilidad para satisfacer diferentes configuraciones de equipos.

Ventajas de la aplicación:

• La alta integración reduce el cableado y ahorra espacio en el panel

• Módulos de E/S ampliables para futuras actualizaciones del sistema

• Control preciso del movimiento de las boquillas de pulverización y de los brazos de manipulación

• Rendimiento estable y eficiente adecuado para una producción de gran volumen